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第1题
既有机械研磨又有化学作用,同时能实现全局平坦化的工艺是
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第2题
旋涂膜层是一种传统的平坦化技术,在0.35μm及以上器件的制造中常普遍应用于平坦化和填充缝隙。
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第3题
信息共享化是实现自动驾驶技术的大趋势。
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第4题
测试技术是机械设备实现自动化、智能化、精密化等的基础
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第5题
战略,是一种从全局考虑、谋划实现一定时期和一定范围全局目标及其实现方式的总体规划。
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第6题
平坦化就是一种去除表面凹凸,使晶片表面保持平整平坦的工艺。
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第7题
焚烧法和热解法是一种高温热处理技术,是一种可同时实现废物无害化、减量化、资源化的处理技术。
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第8题
化学机械抛光技术中的抛光垫越粗糙,抛光速率越高,抛光图形的选择性越低,平坦化抛光的效果也越好,但过于粗糙,易产生划痕。
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