欲在一批小尺寸的基板上用点蒸发源蒸发法沉积厚度一致的薄膜，基板相对于蒸发源应该怎样放置

A.与蒸发源平行的平面上

B.以蒸发源为球心的球面（圆周）上

C.与蒸发源垂直的平面上

D.以蒸发源为球心的球半径上

A.加热蒸发过程

B.气化原子或分子在蒸发源与基片之间的输运

C.蒸发原子或分子在基片表面的沉积过程

D.以上都正确

A.淀积材料蒸发或升华为气态

B.原子从蒸发源输运到基片

C.蒸气粒子在基片上沉积

D.粒子在基片表面重排凝结成膜

A.溅射法

B.蒸发法

C.快速热蒸发法

D.蒸汽传输沉积法

A.电弧放电法、PVD和激光蒸发法

B.SPS、化学气相沉积法和激光蒸发法

C.PVD、化学气相沉积法和激光蒸发法

D.化学气相沉积法和激光蒸发法

A.电弧放电法、PVD和激光蒸发法

B.SPS、化学气相沉积法和激光蒸发法

C.PVD、化学气相沉积法和激光蒸发法

D.化学气相沉积法和激光蒸发法