多选 在激光干涉测量系统中常用的移相方法有（）

A.测量平面面形的干涉仪有泰曼格林干涉仪

B.测量平面面形的干涉仪有斐索干涉仪

C.移相算法是不能定量输出面形的

D.机械移相对振动不敏感

E.偏振移相干涉仪不需要使用波片

F.偏振移相干涉对振动不敏感

A.相移（或移相）

B.幅移（或移幅）

C.频移（或移频）

D.混合

A.激光器应该使用稳频激光器，提高测量精度

B.泰曼格林干涉光路是典型的的偏振移相光路

C.干涉仪中的分光镜使用普通能量分光镜即可

D.移相是通过旋转偏振片实现的

E.1/4波片可以更换为1/2波片

F.参考镜不一定是平面镜

A.1

B.2

C.3

D.4